第407章 出题与解题（1 / 2）

第407章 出题与解题

「林总，我想向您再三强调，佳能的NIL技术拥有极大缺陷，它绝对不像佳能所宣传的那样友好！

它存在着至关重要，几乎，在我看来无法解决的缺陷！」

申海交通大学，前沿技术中心，此次带队前往霓虹栃木县的宇都宫市，负责从佳能光学技术研究所全套接收NIL技术的陈磊博士说道。

陈磊博士，是华国顶尖凝聚态物理领域的专家，此前在阿美莉卡的德克萨斯州电子研究所工作，是华国花费大力气才引进回国的人才。

也是在座众人中，唯一和佳能的NIL光刻机实际接触过的华国工程师。

佳能在2023年10月正式宣布推出其首款用于商业化生产的NIL设备FPA-1200NZ2C，并成功交付给铠侠丶SK海力士等存储大厂以及阿美莉卡的研发机构。

让设备可以在客户的工厂里进行验证丶测试和工艺磨合。

其中阿美莉卡负责接收NIL设备的就是德克萨斯电子研究所，它也是阿美莉卡半导体研发联盟的核心成员之一。

而德克萨斯电子研究所拿到这台设备，不是用于生产，而是用于先进半导体的研发和原型制作。

林燃点了点头，示意陈磊继续说下去。

这还是这位NIL领域唯一的华国工程师回国后，他第一次见到对方。

毕竟林燃太忙，才回申海，陈磊也才回国。

陈磊深吸一口气，点了点头。

他摘下眼镜，用绒布仔细地擦了擦，这个习惯性的动作让他纷乱的思绪重新变得清晰有序。

「好的，林总。」他重新戴上眼镜，目光扫过在场的每一个人。

「首先，我要承认，佳能的宣传并非谎言。

在理想条件下，N-IL确实能做到他们所说的一切。

我甚至亲眼见过，在他们的实验室里，用NIL技术压印出的单层晶圆样品，其精度和良率都达到了惊人的水准。

但这就像是概念跑车，在专业赛道上能跑出破纪录的速度，可一旦把它开到城市拥堵的街道上，它可能连一辆普通的家用车都不如。

它的缺陷，不是出在上限，而是出在下限，出在从实验室走向大规模量产的每一个不起眼的环节里。

我把它总结为以下几点，首先是我认为最要命的，我称之为缺陷瀑布。」

这个词一出口，就引起了一阵小小的骚动。

中芯国际的代表梁孟松显然对缺陷这个词很敏感，他马上皱起了眉头。

陈磊伸出一根手指，语气变得无比严肃：「传统的光刻，无论是DUV还是EUV，都是非接触式的。

这点在座各位我相信都非常清楚。

光穿过掩膜版，投射在晶圆上。

即使掩膜版上有一个尘埃，经过光学系统的缩小，对单个晶片的影响也相对可控。

但NIL是接触式的，是物理压印！

这意味着，只要有一个纳米级的颗粒掉在模板上，或者在压印过程中产生，会发生什麽？」

他停顿下来，让所有人有时间能思考这个问题。

「结果就是，这个缺陷会被模板像图章一样，盖在它接触的每一个晶片单元上。

更可怕的是，这个颗粒可能会污染模板，让模板本身成为一个污染源，在后续的每一片晶圆上，不断地丶重复地复制这个缺陷。

这不是一个点的问题，而是一条线的丶一个面的灾难。

我们称之为Defect Propagation，缺陷传播。

在德州电子研究所，我们曾经有一个项目，就是因为一次微小的污染，导致连续报废了13片晶圆，直接损失超过80万美元。

佳能的解决方案是什麽？加强清洁，实时检测。

但这背后意味着生产线需要频繁地停机丶检测丶清洗模板。

其损失的产能和时间成本，会疯狂地吞噬它在设备采购上省下的钱！

这就是缺陷瀑布，一旦开闸，瞬间冲垮你的良率和成本防线。」

陈磊继续说道：「然后是材料学的黑箱。

NIL技术的核心，除了设备，还有一样东西，光刻胶，或者说，他们称之为树脂。

这已经和我们过去理解的光刻胶有本质的区别。

这种树脂的配方是NIL工艺的灵魂。

它的粘稠度丶流动性丶固化速度丶与模板的剥离特性，每一个参数都直接决定了压印的成败。

而这个配方，是佳能的绝对机密，是他们与合作的化学企业共同开发的，这意味着什麽？」

陈磊的目光变得锐利起来：「意味着我们一旦选择了NIL路线，就不只是买了一台机器，而是将自己捆绑在了佳能的生态系统上！我们必须持续购买他们指定的丶昂贵的丶专利保护的树脂。

我们想自己研发替代品？难度极大，因为我们不知道他们的机器参数是为怎样的树脂特性服务的。

我们想更换供应商？对不起，别的供应商没有经过佳能的验证，出了问题他们概不负责。

林总，您明白吗？我们这是从ASML的硬体垄断，跳进了佳能的硬体加耗材的双重锁定里！这在战略上是极度被动的。

当然这次他们会转让技术，我们受到的限制就只有耗材，可这也同样严重。

我们很难绕开耗材，这是他们二十年的积累，只有靠时间磨，别无他法。」

一位随行的技术官员忍不住开口问道：「陈博士，那套刻精度呢？佳能展示的数据，他们的层间对准精度非常高。」

陈磊看向他，摇了摇头：「这正是接下来要说的第三个陷阱，累积误差。

是的，在少数几层的迭加中，NIL的套刻精度看起来很美。

但逻辑晶片的制造，动辄需要几十上百层的迭加。

NIL是物理接触，每一次压印和脱模，都会在晶圆上产生微米级的应力形变和热量变化。

这种形变极其微小，在第一层丶第二层，你几乎无法察觉。

但是，当迭加到第30层丶第40层呢？

这种微小的误差会像滚雪球一样被放大，最终导致高层级的电路对准出现灾难性的偏差。

这就好比用一套有微小误差的模具去盖一栋百层高楼。

盖到第十层，看起来还很完美；盖到第五十层，问题开始显现；等到封顶的时候，整栋楼可能已经扭曲倾斜，摇摇欲坠。

佳能给我们看的，永远是前十层的完美景象，但他们不会，也不敢给我们看封顶之后的样子。

因为在德州，没有任何一家顶级逻辑晶片公司，敢于将NIL技术用于超过20层的关键制程。

佳能之所以愿意出售这套方案，恐怕.」

陈磊提出的这三大陷阱，缺陷瀑布丶材料学黑箱和累积误差，它们环环相扣，从工艺丶成本，到战略安全，再到最终产品的可靠性，构建了一个看似完美的技术方案背后存在的缺陷。

同时也让在座各位感慨，对方不愧是唯一了解NIL技术的专家，说的直击重点。

林燃摆了摆手：「陈博士，我知道了，这些都是小问题。

你放心，你需要的就只是去那，把他们的东西学会，然后带回来。」

陈磊轻声道：我之所以能回来，是因为在阿美莉卡的那个圈子里，我，以及和我一样的华人科学家，永远是外人。」

他顿了顿，似乎在组织语言，将那些压抑在心底许久的话，用最平静的方式说出来。